真空室的极限真空,真空室所能达到的极限真空由下式决定,真空室的极限真空通常总是低于,真空抽气机组的极限真空。两者之差主要取决于Q/S,,在抽气口附近泵可以有效抽速一定的条件下,真空室的极限真空正比于真空室的漏气和出气。
在设计真空系统时,漏气童主要由真空室的极限真空和工作压力来确定。一般选取低于 工作状态下气体负荷(工艺生产中放出的气体量)的十分之一。
真空室的工作压强:真空室正常工作时所需的工作压力由下式决定,真空室的工作压力一般高于其极限真空。工作压力选择得愈接近极限真空,真空抽气设 备的经济效率愈低。从经济方面考虑,最好在主泵的最大抽速或最大排气最附近选择工作压 力。一般工作压力多半选择在高于极限压力半个到一个数量级。